溅射离子泵又称潘宁泵，它是靠潘宁放电维持抽气的一种无油清洁超高真空泵是目前抽惰性气体较好的真空获得设备一溅射离子。

3吸气剂离子泵 它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的它有如下几种型式。

为此，南京大学徐静娟江德臣赵伟伟团队开发了一种基于纳米毛细管的可见光驱动离子泵用于亚细胞水平原位氧气检测作者将硫化。