溅射离子泵又称潘宁泵，它是靠潘宁放电维持抽气的一种无油清洁超高真空泵是目前抽惰性气体较好的真空获得设备一溅射离子。 3吸气剂离子泵 它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作...